장비 개요

본 장비는 반도체 및 기능성 소재의 Hall 효과 측정 및 전기적 수송 특성 분석을 위한 시스템이다. HMS-5500 메인 바디를 기반으로, 고온용 자석 키트(AHT55T5)를 구성했으며, RT ~ 773 K(약 500 °C) 범위에서 측정이 가능하다. 자기장을 인가한 상태에서 시편의 Hall 전압을 측정하여 캐리어 농도, 이동도, 저항률(Resistivity) 등을 정밀 분석할 수 있으며, 반도체 웨이퍼, 박막, 벌크 소재의 전기적 특성 평가에 활용된다.

특징

• Bulk 및 Sheet Carrier Concentration, Resistivity, Carrier Mobility, Hall Coefficient 측정 가능 

• 고온용 자석 키트(최대 773K)를 이용한 온도 의존 전기적 특성 분석 가능

측정 가능 시편

• 적용 가능 샘플 크기: 5 mm × 5 mm ~ 20 mm × 20 mm

동작 환경 및 전기적 사양