장비 개요

본 장비는 고전압·고전류 전력반도체 소자의 정적 특성(Static Characteristics) 평가를 위한 통합형 전력소자 분석 시스템이다. HVSMU(High Voltage SMU), HCSMU(High Current SMU), MCSMU, MFCMU, GNDU 및 UHC(Ultra High Current Expander) 모듈을 조합하여 kV급 고전압 인가가 가능하며, 항복전압(BV), 온상태 특성, 누설전류, C–V 특성 등을 정밀하게 측정할 수 있다. Si, SiC, 기반 고전압 전력반도체 개발 및 신뢰성 평가에 널리 활용된다.

특징

• I–V 특성(Transfer / Output) 및 C–V 특성, BV 측정 가능

• 최대 3000V DC bias에서 커패시턴스(Ciss, Coss, Crss, etc.) 자동화 측정 가능

• QSCV 측정을 통한 oxide interface 특성 분석

• EasyEXPERT 소프트웨어로 데이터 관리 및 분석 간소화

측정 가능 시편

• Discrete 패키징 소자 (TO-247-3L, TO-247-4L 패키지 지원)

• Wafer (Manual 및 Semi auto probe station연동 가능)

동작 환경 및 전기적 사양