장비 개요

본 장비는 고전압 및 고온 환경에서 on-wafer 상태의 전력반도체 소자 특성 평가를 수행하기 위한 다크 실드형 프로브 스테이션이다. 외부 광 및 전기적 노이즈를 차단한 상태에서 웨이퍼 상의 개별 소자(die)를 직접 접촉 측정할 수 있어, 패키징 이전 단계에서 소자의 본질적인 전기적 특성을 분석할 수 있다.

특징

• Kelvin probing 및 다중 프로브 구성 가능

• Vertical 소자 (Chuck drain 전압 인가 가능)

• 개별 다이(die) 단위 프로빙 측정 지원

측정 가능 시편

• 조각 2 / 4 / 6 / 8-inch Wafer

동작 환경 및 전기적 사양